- плазменное удаление слоя
- (напр. резиста) plasma stripping
Русско-английский политехнический словарь. Академик.ру. 2011.
плазменное удаление слоя
Смотреть что такое "плазменное удаление слоя" в других словарях:
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия
ТРАВЛЕНИЕ — химическое, удаление части поверхностного слоя монокристалла, заготовки или изделия с помощью топохим. р ций. Проводится с использованием р ров, расплавов, газов (газовое Т.) или активир. газов (напр., плаз мохимическое Т.). Собственно химическое … Химическая энциклопедия
